4月14日上午,扬州市政协党组书记、主席陈扬莅临群发光芯考察指导工作。在公司董事长、技术副总王亮和工艺负责人陪同下,陈扬主席深入中试线洁净室,详细了解各关键工序设备调试进展。
在镀膜站与黄光站核心区域,负责人介绍:作为中试线的两个百级洁净区,其设备配置对标国际一流标准——镀膜工序引入两台不同型号 CVD 设备,兼顾量产需求与研发试验;公司掌握多类型薄膜工艺:低损耗厚膜氮化硅、氧化硅等,不仅应用于OPA硅光芯片生产,同时也满足光通信系列产品加工和材料销售。
负责人介绍:硅光芯片的线宽精度不需要电子芯片30nm以内,但对光刻对准要求非常高,黄光站配备省内唯一一台适配型号光刻机(目前已禁运),针对光刻对准精度进行定制化设计,产能不仅满足当前OPA芯片市场需求,更兼容多类型硅光器件加工(如光通信、光传感)。在后道检测区域,负责人特别说明:公司技术团队联合某著名设备厂商,协助其研发出全国首台OPA硅光芯片定制化测试设备,可精准适配硅光器件特定指标检测(如光强、能量分布、传输损耗等),并与AOI 缺陷识别、分选设备实现系统级数据互通,为后道芯片加工释放大量产能空间。陈扬主席表示:政府对群发OPA项目发展提供了大力支持,是作为扬州硅光产业的创新标杆来培育的。目前中试线设备已达到业内一流水准,要发挥好光刻机、CVD、测试机等核心装置的作用,在生产良率上也要力争业内一流。提高生产良率不光要设备性能好,生产管理和技术团队也要跟得上,要积极对标相关行业头部企业,引入先进运营管理经验,系统提高团队技术人员水平,发挥好中试线区位优势,打造具有业内高影响力的硅光中试线。针对投产冲刺阶段重点工作,陈扬主席特别强调:“越是临近投产,越要绷紧安全弦、织密责任网。要对厂区安全管理、危化品管控、应急预案等进行再排查、再落实,以‘万无一失’的标准确保中试线安全平稳运行,期待下次到访时,能看到产线实现硅光芯片高效稳定生产,为后续规模化量产奠定坚实基础,同时为打造扬州产业科创名城多做贡献。”